Ο ελεγκτής κοπής πλάσματος αποτελείται κυρίως από τα ακόλουθα εξαρτήματα:
Πηγή ισχύος υψηλής-συχνότητας: Χρησιμοποιείται για τη δημιουργία ηλεκτρικού πεδίου υψηλής-συχνότητας.
Αντιστοίχιση δικτύου: Χρησιμοποιείται για τη ρύθμιση της κατανομής του ηλεκτρικού πεδίου υψηλής-συχνότητας εντός του θαλάμου πλάσματος.
Θάλαμος πλάσματος: Χρησιμοποιείται για τον ιονισμό μορίων αερίου και τη δημιουργία πλάσματος.
Σύστημα κενού: Εξασφαλίζει το επίπεδο κενού και τη σταθερότητα του θαλάμου πλάσματος.
Σύστημα ελέγχου: Χρησιμοποιείται για τον έλεγχο των παραμέτρων του πλάσματος και την επίτευξη σταθερού ελέγχου των ηλεκτρικών ιδιοτήτων του πλάσματος.
